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滾動:芯源微公布“一種改善方形基板涂膠四角均勻性的配合設置結構”專利
2025-12-24 13:59:06 來源：和訊網
(資料圖片)
天眼查APP顯示，近日，沈陽芯源微電子設備股份有限公司申請的“一種改善方形基板涂膠四角均勻性的配合設置結構”專利公布。 摘要顯示，本發明屬于半導體設備技術領域，具體地說是一種改善方形基板涂膠四角均勻性的配合設置結構，適用于對方形基板進行涂膠作業的涂膠單元，包括承片臺驅動電機、下層環形承接槽、環形防水罩、溫濕度控制空調、上層擋流環、擬圓承片臺、中層導流環槽、升降導氣環及升降驅動件。本發明能夠通過盡可能地降低方形基板四角區域的強流場，以及提高方形基板中心內切圓區域的干燥速度，使內切圓區域的干燥速度盡可能地與方形基板四角區域同步，從而大幅度提高方形基板的膜厚均勻性并減少風紋和色差，提高方形基板的整體利用率，結構相對簡單，拆裝維護方便。升降驅動件可帶動升降導氣環升降，可以方便地根據不同的工藝對升降導氣環進行高度調整。
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